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Matériaux, chimie, procédés et produits
Plateforme Ellipsométrie (ELLIPSOMETRIE)
Plateforme
La Plateforme Ellipsométrie met à disposition de la communauté scientifique un parc d'ellipsomètres unique dans le Grand Est de la France. La conception modulaire des instruments permet de s'adapter à différentes configurations de mesure et de coupler efficacement l'ellipsométrie avec d'autres techniques pour réaliser des mesures in-situ. Le domaine spectral d'étude s'étend de l'UV jusqu'à l'infra-rouge lointain (190nm -> 40µm) permettant une très large gamme de caractérisation de systèmes mono/multi couche(s) (épaisseurs (du nm au µm), indices optiques (matériaux isotropes ou anisotropes), rugosité de surface, caractérisation in-situ et/ou ex-situ,) couvrant un large champ d'applications : semiconducteurs, polymères, métaux, biologie, électrochimie...
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M. Laurent BROCH
Responsable technique de plateforme -
M. Aotmane EN NACIRI
Responsable scientifique de plateforme
Directeur / Directrice d'unité de recherche
1 boulevard Arago
57078 METZ
Offre de services
- Détermination d'épaisseurs...
- Mise à disposition d'instruments
Types d'offre de service
- Collaboration de R&D
- Conseil
- Formation
- Prestations de service
Prestations de services
Formation
Compétences (autres services)
Labellisation / Certifications
Thématiques stratégiques
- Matériaux, chimie, procédés et produits
| Nom | Modèle | Marque | Objets d'études |
|---|---|---|---|
| ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A COMPENSATEUR TOURNANT RAPIDE | Etudes in-situ et suivi de croissance, d'évolution de couches. Mesures toutes les 100ms. Domaine spectral visible (400-800nm). | ||
| ELLIPSOMETRE A MATRICE DE MUELLER | Echantillons/matériaux anisotropes dans le domaine Visible (400-800 nm) | ||
| ELLIPSOMETRE INFRA-ROUGE | |||
| ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A POLARISEUR TOURNANT | |||
| ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE UVISEL | UVISEL | Horiba Jobin Yvon | domaine spectral (250-2100nm) |
Établissements de rattachement
Unité(s) de recherche associée(s)
Pôle scientifique
- Pôle scientifique Chimie et Physique Moléculaires
Réseaux de compétences
- GDR Nacres (http://sites.google.com/site/gdrnacre/home)