• Matériaux, chimie, procédés et produits

Plateforme Ellipsométrie (ELLIPSOMETRIE)

Plateforme

Présentation générale

La Plateforme Ellipsométrie met à disposition de la communauté scientifique un parc d'ellipsomètres unique dans le Grand Est de la France. La conception modulaire des instruments permet de s'adapter à différentes configurations de mesure et de coupler efficacement l'ellipsométrie avec d'autres techniques pour réaliser des mesures in-situ. Le domaine spectral d'étude s'etend de l'UV jusqu'à l'infra-rouge lointain (190nm -> 20µm) permettant une large gamme de caractérisation de systèmes mono/multi couche(s) (épaisseurs (du nm au µm), indices optiques (matériaux isotropes ou anisotropes), rugosité de surface, caractérisation in-situ et/ou ex-situ,) couvrant un large champ d'applications : semiconducteurs, polymères, métaux, biologie, électrochimie...

Contacts

  • M. Aotmane EN NACIRI
    Responsable scientifique de plateforme
  • M. Laurent BROCH
    Responsable technique de plateforme

Plan et accès

1 boulevard Arago
57078 METZ

Offres de service et de formation

Prestations de services

Formation

Formation en ellipsométrie

Compétences (autres services)

Développement, études, conseils

Thématiques stratégiques

  • Matériaux, chimie, procédés et produits

Réseaux de compétences

- MATERALIA (http://www.materalia.fr/fr/)
- C'Nano Grand Est (http://www.cnanoge.org/)
- GDR Nacres (http://sites.google.com/site/gdrnacre/home)

Publications

Équipements

Équipements

Nom Modèle Marque Objets d'études Mise à disposition
ELLIPSOMETRE A MATRICE DE MUELLER Echantillons/matériaux anisotropes dans le domaine Visible (400-800 nm)
ELLIPSOMETRE INFRA-ROUGE
ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A COMPENSATEUR TOURNANT RAPIDE Etudes in-situ et suivi de croissance, d'évolution de couches. Mesures toutes les 100ms. Domaine spectral visible (400-800nm).
ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A POLARISEUR TOURNANT
ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE UVISEL UVISEL/ Horiba Jobin Yvon domaine spectral (250-2100nm)

Environnement institutionnel

Établissements de rattachement

  • Etablissement universitaire - Université de Lorraine

Unité(s) de recherche associée(s)

Pôle scientifique

  • Pôle scientifique Chimie et Physique Moléculaires

Labellisations et certifications

  • Labellisation StAR-LUE (Structure d'Appui à la Recherche)