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Matériaux, chimie, procédés et produits
Plateforme Lorraine de Micro et Nanofabrication (IJL - CC MiNaLor)
Plateforme
Le Centre de Compétences (CC) MiNaLor rassemble des équipements et des compétences nécessaires à la mise en oeuvre de procédés de micro et nanofabrication et assure principalement le soutien en micro-nano-technologies aux projets scientifiques de l'IJL et de ses partenaires, académiques ou industriels. Ces procédés, dont les lithographies optique et électronique, permettent de fonctionnaliser des matériaux ou d'en réduire les tailles latérales à une échelle nanométrique afin d'en modifier les propriétés.
Ces utilisations relèvent, d'une part, de la physique fondamentale, que ce soit pour les mesures physiques des matériaux ou l'étude des propriétés spécifiques des nanostructures et, d'autre part, de l'ingénierie pour le développement de micro-capteurs intégrés.
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M. Thierry AUBERT
Directeur / Directrice d'unité de recherche -
M. Laurent BADIE
Responsable technique de plateforme
- Nanotechnologies
- Nanofabrication
- Lithographie
- Dépôts de films minces
- Gravure
- Integration
- Capteurs
- Nanocontacts
- Electronique de spin
- Jonctions tunnel
- Dispositifs à paroi
- Micromagnétisme
- Nanomagnétisme
- Parois
- nanostructures
- Frustration géométrique
- Micro-fluidique
- Mécanique des nanostructures
- Membranes
- Ondes acoustiques de surface
- Matériaux innovants
- Filtres
- Capteurs
- Phononique
- Optronique
- semi-conducteurs
- Nanocristaux de silicium
- Photodétecteur BGaAlN
- Nano-objets
- Nanotubes
- Conducteurs moléculaires
- GaN
2 allée André Guinier
54011 NANCY
Offre de services
- Dispositifs à ondes acoustiques de surface
- Transistor pour l'électronique organique
- Dispositifs microfluidique pour la spectroscopie d'impédance
- Dispositifs microfluidique pour la manipulation et le chauffage
- Dispositifs pour la manipulation de parois magnétiques
- Eléments thermoélectriques
- Membranes piezoélectriques
- Caractérisations de nanofils thermoélectriques uniques
- Contacts sur structures semi-conductrices
- Electronique de spin : Jonctions tunnel, Dispositifs à paroi
- Micro et Nanomagnétisme : Parois dans les nanostructures, Frustration géométrique
Micro-fluidique
- Mécanique des nanostructures : Membranes
- Ondes acoustiques de surface : Matériaux innovants, Filtres,
- Capteurs, Phononique, Optronique et semi-conducteurs, Nanocristaux de silicium, Photodétecteur BGaAlN
- Nano-objets : Nanotubes, Conducteurs moléculaires
- Micro et nano-antennes
Prestations de services
Compétences (autres services)
- Déposer à l'aide de techniques différentes ou plusieurs couches minces PVD ou ALD tout en restant sous ultra-vide mais aussi caractériser vos couches minces (STM, AFM, XPS, Auger)
- Un parc de machine est à votre disposition mais vous pouvez venir connecter votre enceinte de dépôt dans la partie TTO du tube, vous donnant ainsi l'accés à ses outils de caractérisation.
- Fonctionnalisation des matériaux ou d'en réduire les tailles latérales à une échelle nanométrique afin d'en modifier les propriétés
- Mesures électriques sur couches minces
- Excitation et détection d'ondes acoustiques
- Création de nanostructures (top-down)
- Mesures sur nano-objets uniques
- Capteurs Microsystèmes
- Lab on chip
Thématiques stratégiques
- Matériaux, chimie, procédés et produits
Réseaux de compétences
Équipements
| Nom | Modèle | Marque | Objets d'études | Mise à disposition |
|---|---|---|---|---|
| ALIGNEUR DE MASQUE - MJB4 | MJB4/ | SUSS MicroTec | Oui | |
| EVAPORATEUR PAR EFFET JOULE | 3 creusets/ | MECA 2000 | Oui | |
| PULVERISATEUR CATHODIQUE | AC450/ | Alliance Concept | Oui | |
| SYSTEME DE LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE - 150-II | 150-II/ | Raith | Oui | |
| SYSTEME DE LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE - ELPHY PLUS | ELPHY PLUS/ | Raith | Oui | |
| SYSTEME DE LITHOGRAPHIE OPTIQUE SANS MASQUE SMART PRINT | SMART FORCE technologies | Oui | ||
| SYSTEME DE LITHOGRAPHIE PAR NANO-IMPRESSION | NX-2500/ | Nanonex | Oui |
Établissements de rattachement
Unité(s) de recherche associée(s)
Pôle scientifique
- Pôle scientifique Matière, Matériaux, Métallurgie, Mécanique
