• Matériaux, chimie, procédés et produits

Plateforme Lorraine de Micro et Nanofabrication (IJL - CC MiNaLor)

Plateforme

Présentation générale

Le Centre de Compétences (CC) MiNaLor rassemble des équipements et des compétences nécessaires à la mise en oeuvre de procédés de micro et nanofabrication et assure principalement le soutien en micro-nano-technologies aux projets scientifiques de l'IJL et de ses partenaires, académiques ou industriels. Ces procédés, dont les lithographies optique et électronique, permettent de fonctionnaliser des matériaux ou d'en réduire les tailles latérales à une échelle nanométrique afin d'en modifier les propriétés.
Ces utilisations relèvent, d'une part, de la physique fondamentale, que ce soit pour les mesures physiques des matériaux ou l'étude des propriétés spécifiques des nanostructures et, d'autre part, de l'ingénierie pour le développement de micro-capteurs intégrés.

Contacts

Technologies, services et plateformes

Offre de services

- Jonctions tunnel magnétiques
- Dispositifs à ondes acoustiques de surface
- Transistor pour l'électronique organique
- Dispositifs microfluidique pour la spectroscopie d'impédance
- Dispositifs microfluidique pour la manipulation et le chauffage
- Dispositifs pour la manipulation de parois magnétiques
- Eléments thermoélectriques
- Membranes piezoélectriques
- Caractérisations de nanofils thermoélectriques uniques
- Contacts sur structures semi-conductrices
- Electronique de spin : Jonctions tunnel, Dispositifs à paroi
- Micro et Nanomagnétisme : Parois dans les nanostructures, Frustration géométrique
Micro-fluidique
- Mécanique des nanostructures : Membranes
- Ondes acoustiques de surface : Matériaux innovants, Filtres,
- Capteurs, Phononique, Optronique et semi-conducteurs, Nanocristaux de silicium, Photodétecteur BGaAlN
- Nano-objets : Nanotubes, Conducteurs moléculaires
- Micro et nano-antennes

Offres de service et de formation

Prestations de services

Compétences (autres services)

- Réaliser des dispositifs sous forme de couches minces
- Déposer à l'aide de techniques différentes ou plusieurs couches minces PVD ou ALD tout en restant sous ultra-vide mais aussi caractériser vos couches minces (STM, AFM, XPS, Auger)
- Un parc de machine est à votre disposition mais vous pouvez venir connecter votre enceinte de dépôt dans la partie TTO du tube, vous donnant ainsi l'accés à ses outils de caractérisation.
- Fonctionnalisation des matériaux ou d'en réduire les tailles latérales à une échelle nanométrique afin d'en modifier les propriétés
- Mesures électriques sur couches minces
- Excitation et détection d'ondes acoustiques
- Création de nanostructures (top-down)
- Mesures sur nano-objets uniques
- Capteurs Microsystèmes
- Lab on chip

Thématiques stratégiques

  • Matériaux, chimie, procédés et produits

Réseaux de compétences

RENATECH+ https://www.renatech.org

Équipements

Équipements

Nom Modèle Marque Objets d'études Mise à disposition
ALIGNEUR DE MASQUE - MJB4 MJB4/ SUSS MicroTec Oui
EVAPORATEUR PAR EFFET JOULE 3 creusets/ MECA 2000 Oui
PULVERISATEUR CATHODIQUE AC450/ Alliance Concept Oui
SYSTEME DE LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE - 150-II 150-II/ Raith Oui
SYSTEME DE LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE - ELPHY PLUS ELPHY PLUS/ Raith Oui
SYSTEME DE LITHOGRAPHIE OPTIQUE SANS MASQUE SMART PRINT SMART FORCE technologies Oui
SYSTEME DE LITHOGRAPHIE PAR NANO-IMPRESSION NX-2500/ Nanonex Oui

Environnement institutionnel

Établissements de rattachement

  • Etablissement universitaire - Université de Lorraine
  • Autre rattachement - CNRS

Unité(s) de recherche associée(s)

Pôle scientifique

Labellisations et certifications

  • Institut Carnot ICEEL
  • Labellisation INFRA+ (Infrastructure d'appui à la recherche)